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50MΩ阻抗的液體至一般水質均可穩定檢測。
並且，檢測範圍分為4個階段，能配合不同液體檢測。
K7L-AT50[] / AT50D[][]
漏液檢測器/附斷線檢測功能 漏液檢測器
![K7L-AT50[] / AT50D[][]](/Images/l_564-18-118960-198x198.jpg)
可設定4階段的檢測範圍，低導電率之化學液體及一般水亦可穩定檢測
更新日期 2022年6月2日
電極間電阻檢測方式
專用防爆保持器（另售）
可在危險環境下，使用漏液檢測器的小型專用防爆阻隔系列化。
AC檢測方法
由於採AC方式供應檢測帶訊號，不會發生電蝕現象，非常安全。
搭載雜訊消除器(PAT)
應用3芯電纜的雜訊消除電路，抗干擾性優越並可獲得安定地檢測漏液。
多通道使用
由於電源迴路部分和偵測迴路部施加絕緣，可在同場所設置多台裝置。
半導體製造裝置的結露、漏液檢測
檢測洗淨裝置內部結露及其周邊漏液
耐化學性優越的漏液檢測帶
電極部採用SUS316，絕緣被覆部採用聚乙烯。耐酸性或耐鹼性等均大幅提升。
CMP裝置計量槽之漏液檢測
檢測集水盤的漏液，防止裝置損壞或晶圓清洗不良。
化學液體槽管線連接部之漏液檢測
在管線連接部等有可能漏液的部位，捲繞檢測帶以檢測漏液。
電鍍設備洗淨水之液位檢測
檢測洗淨槽內純水之液位。
以高感度做高精度控制，可防止洗淨不良。
註:在防爆區的一個水槽上，使用2個以上的K7L型時，請務必實施接地處理。
更新日期 2022年6月2日
產品類別
- 感測器
- 振動感測器/漏液感測器/其他感測器
- 漏液感測器
- K7L-U[] / UD[][]
- K7L-AT50[] / AT50D[][]
- F03-16PE / 16PT / 15 / 16PS
- F03-16SF / 16SFC
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