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與導軌併用,設定底座位置

與晶圓載具的接觸面使用氟樹脂,耐藥品性能優異

採特有的光學系統,可安定檢測大部份的晶圓載具

可對抗環境光源的變調光方式

採用無塵纜線(無滑石粉)