| 外觀 | 直線型 | E9NC-TH5S | E9NC-TH12S | |
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| 直角型氣送規 | E9NC-TH5L | E9NC-TH12L | ||
| 法藍型/直線型 | E9NC-TH5SF | E9NC-TH12SF | ||
| 法藍型/直角型氣送規格 | E9NC-TH5LF | E9NC-TH12LF | ||
| 測量範圍(可動範圍) | 5mm | 12mm | ||
| 解析度 | 0.1μm | |||
| 精度*1 | 1μm | |||
| 測量力*1 | 上方位 | 0.35±0.25N | 0.4±0.3N | |
| 横方位 | 0.4±0.25N | 0.5±0.3N | ||
| 下方位 | 0.45±0.25N | 0.6±0.3N | ||
| 指示燈(前置放大器) | 動作指示燈(藍色/紅色) | |||
| 環境溫度範圍 |
動作時:-10~+55℃,保存時:-20~+60℃ (不可凍結、凝結) |
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| 環境濕度範圍 | 動作時、保存時:各35~85%RH (不可結露) | |||
| 最大應答速度 | 80m/min | |||
| 原點檢測速度 | 80m/min | |||
| 原點位置 | 離轉軸位置(最下面的位置) 1±0.5mm | |||
| 耐振動 | 100m/s2(20~2,000Hz)X、Y、Z各方向 20min | |||
| 衝撃(耐久性) | 1,000m/s2 X、Y、Z各方向 3次 | |||
| 保護構造 | 感測頭部位 | 直角型氣送規格 | IEC規格 IP67
(僅限於裝有軟管接頭並裝上送氣管時) |
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| 直線型 | - | |||
| 前置放大器部位 | - | |||
| 滑動次數 | 9,200萬次(以本公司自有的方式測量) | |||
| 接觸頭 | 附硬質合金球面,螺紋尺寸M2.5 | |||
| 連接方式 | 接頭中繼型(感測頭-前置放大器之間:2m) | |||
| 材質 | 感測頭部位 | 不繡鋼(SUS303) | ||
| 橡膠套 | 丁腈橡膠(NBR) | |||
| 前置放大器部位 | ABS | |||
| 接觸頭接觸部位*2 | 硬質合金 | |||
| 導線 | PVC | |||
| 送氣用軟管接頭(附屬品)
(僅限於直角型氣送規格) |
黃銅、鍍鎳 | |||
| 緊固螺母、波浪墊圈
(僅限於法蘭型) |
緊固螺母:不鏽鋼(SUS410)、波浪墊圈:SK5 | |||
| 重量(包裝狀態/僅限於本體) | 約340g/約110g | |||
| 附屬品 | 【共通】扳手、使用說明書
【直角型氣送規格】軟管接頭 【法蘭型】緊固螺母、波浪墊圈、鉗型扳手、固定釘 |
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*1. 環境溫度為20℃ 時的值。
*2. 使用附屬的E9NC-TB1 (φ3接觸頭)型時。