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將晶圓製程控制以外的其他動作自律分散模組化，將主控制器的資源集中於製程控制上。
而且採用具備高速低抖動以及即時性的EtherCAT，以確保重現性。
NX-ECT101
NX系列EtherCAT®子局模組
支援EtherCAT，以高速執行資料交換
更新日期 2025年11月17日
EtherCAT 自律分散系統 提高半導體裝置的附加價值
確保晶圓製程控制的重現性
縮短裝置設計所需的前置時間
利用分散模組化，即可同步進行開發並使用NX-ECT101並以EtherCAT整合，即可減少需要學習的工具。
所使用的Sysmac Studio就是一種將動作、安全性、感測等開發環境加以整合的自動化控制軟體。
因此，有助於縮短設計所需的前置時間和設計人員的培育時間。
佔地面積縮減
NX系列具備控制與安全性功能，寬度為102 mm。與其他公司產品相比，體積精簡48%*1，並且有效減少佔地面積。
提升維護性
不需透過電腦來操作工具， 只要透過SD記憶卡即可進行程式更新。而且，即使錯誤操作也不需要將程式重寫，因此輕鬆、確實即可完成維護工作。
更新日期 2025年11月17日
產品類別
- FA系統裝置
- 機械自動化控制器
- NX系列 I/O系統
- EtherCAT子局模組
- NX-ECT101
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