
漏液檢測器/附斷線檢測功能 漏液檢測器
更新日期 2022年6月2日
可在危險環境下,使用漏液檢測器的小型專用防爆阻隔系列化。
由於採AC方式供應檢測帶訊號,不會發生電蝕現象,非常安全。
應用3芯電纜的雜訊消除電路,抗干擾性優越並可獲得安定地檢測漏液。
檢測洗淨裝置內部結露及其周邊漏液
檢測集水盤的漏液,防止裝置損壞或晶圓清洗不良。
在管線連接部等有可能漏液的部位,捲繞檢測帶以檢測漏液。
檢測洗淨槽內純水之液位。
以高感度做高精度控制,可防止洗淨不良。
註:在防爆區的一個水槽上,使用2個以上的K7L型時,請務必實施接地處理。
更新日期 2022年6月2日