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2017/03 停產商品

E3X-DA-S

高功能數位光纖放大器

E3X-DA-S

安定檢出的高功能光纖放大器

此頁記載內容是在依據停產前商品型錄內刊載的資訊,包括商品的特點 /價格 /對應規格 /選購品等,可能會和現狀有所出入。請在選購前再次確認系統的適用性及安全性。

額定/性能

光纖放大器

類型 泛用類型 APC長壽命型 高速應答型
標準 感測器通訊模組專用
型號 E3X-DA[]-S
([]:21/51/7/9)
E3X-DA0-S *1 E3X-DA[]R-S
([]:21/51/7/9)
E3X-DA[]F-S
([]:21/51/7/9)
光源(發光波長) 紅色4元素發光二極體(625nm)
電源電壓 DC12 ~ 24V±10%
漣波(p-p) 10%以下

透過感測器

通訊模組,

再由接頭供電

DC12 ~ 24V±10%

漣波(p-p) 10%以下

消耗電力 一般模式:需小於960mW
(電源電壓為24V時 消耗電流小於40mA/電源電壓為12V時 消耗電流小於80mA)
省電力ECO1:需小於720mW
(電源電壓為24V時 消耗電流小於30mA/電源電壓為12V時 消耗電流小於60mA)
省電力ECO2:需小於600mW
(電源電壓為24V時 消耗電流小於25mA/電源電壓為12V時 消耗電流小於50mA)
控制輸出・
APC警報輸出 *1
負載電源電壓 DC26.4V以下、開路集極輸出型(依NPN/PNP輸出型式而異)
負載電流:50mA以下(殘留電壓2V以下)
外部輸入 *2 無電壓輸入型
(有接點/無接點)*3
無電壓輸入型
(有接點/無接點)*3
保護迴路 電源反接保護、輸出短路保護、輸出逆接保護
應答
時間
最快速模式 *4

動作、復歸:

各80μs

動作、復歸:各80μs NPN輸出
動作:46μs、
復歸:48μs
PNP輸出
動作:51μs、
復歸:53μs
高速模式 動作、復歸:各250μs
標準模式 動作、復歸:各1ms
高精度模式 動作、復歸:各4ms
強光量模式 動作、復歸:各16ms
感度設定 教導或手動調整功能
功能 電源調節 投光功率及受光增益值•數位控制方式
微分檢測 可切換單側邊緣檢測模式/兩側邊緣檢測模式
單側邊緣:可切換為250/500μs/1/10/100ms
兩側邊緣:可切換為500μs/1/2/20/200ms

自動電源

控制
(APC)

常時有效
投光電流高速控制方式
E3X-DA[]R-S型為廣範圍APC
定時器 可選擇定時器功能關閉/OFF延遲/ON延遲/單觸發/ON延遲+OFF延遲

1ms ~ 5s (1 ~ 20ms:1ms單位、20 ~ 200ms:10ms單位、

200ms ~ 1s:100ms單位、1 ~ 5s:1s單位)

ATC
APC容許量表示

慢速移動

顯示

歸零 可顯示負值(亦可改變門檻值)
設定重置 可選擇起始復歸(出廠時的狀態)/復歸使用者設定值(儲存完成的狀態)

防止相互

干擾

最多10台 *5

Eco省電

模式 *6

可選擇OFF (數位顯示亮燈) / ECO1 (數位顯示微亮) / ECO2 (數位顯示熄燈)等其中一項

外部輸入

設定*2

可選擇各種教導功能/電源調節/歸零/投光OFF/開始ATC等功能
輸出設定 可依頻道別選擇輸出/區域輸出/
自我診斷功能輸出等功能
指示燈

動作指示燈1ch (橘色)、

動作指示燈2ch (橘色)

動作指示燈

1ch(橘色)、
APC警報輸出

指示燈(橘色)

動作指示燈

1ch(橘色)、

光量調整

指示燈(橘色)

數位顯示

除了受光量+門檻值外,另有其他6種類型可供選擇

(請參閱附錄第19頁「6.切換顯示方式 」之相關說明)

顯示方向 可切換一般/反轉
按鍵鎖定 按鍵鎖定 按鍵鎖定/簡單按鍵鎖定(切換開關)
使用環境照度 受光面照度 白熾燈:10,000lx以下、太陽光:20,000lx以下
最大連接台數 16台(實際環境溫度依連接台數而異)*7
環境溫度範圍 動作時:連接1 ~ 2台時:-25 ~ +55℃、連接3 ~ 10台時:-25 ~ +50℃、
連接11 ~ 16台時:-25 ~ +45℃ *8
保存時:-30 ~ +70℃(不可結冰結露)
環境濕度範圍 動作時、保存時:各35 ~ 85%RH (不可結露)
絕緣阻抗 20MΩ min. (at 500 VDC)
耐電壓 AC1,000V 50/60Hz 1min
震動(耐久性)

10 ~ 55Hz

重複振幅1.5mm

X、Y、Z各方向2h

10 ~ 150Hz
(重複振幅0.7mm)
X、Y、Z各方向80min

10 ~ 55Hz

重複振幅1.5mm

X、Y、Z各方向 2h

衝擊(耐久性) 500m/s2
X、Y、Z各方向 3次
200m/s2
X、Y、Z各方向 3次

500m/s2

X、Y、Z各方向 3次

保護構造 IEC60529規格 IP50 (安裝保護蓋時)
連接方式

出線型

(標準導線長度2m)、

或省配線接頭型

感測器通訊模組

專用接頭

出線型(標準導線長度2m)、

或省配線接頭型

重量(包裝狀態) 出線型:約100g、省配線
接頭型:約55g
約55g

出線型:約100g、

省配線接頭型:約55g

材質 外殼 PBT
保護蓋 聚碳酸酯
附屬品 使用說明書

*1. 支援與EtherCAT相容的感測器通訊模組E3X-ECT型

以及與CompoNet相容的感測器通訊模組E3X-CRT型。

*2. 僅適用於出線型。
*3. 相關輸入規格如下:

接點輸入(繼電器、開關) 無接點輸入(電晶體)
NPN
類型
ON狀態:將0V短路(流出電流:小於1mA)
OFF狀態:開路或將Vcc短路
ON狀態:小於1.5V (流出電流:小於1mA)
OFF狀態:Vcc-1.5V ~ Vcc (電流外漏:0.1mA以下)
PNP
類型
ON狀態:將Vcc短路(吸入電流:小於3mA)
OFF狀態:開路或將0V短路
ON狀態:Vcc-1.5V ~ Vcc (電流外漏:3mA以下)
OFF狀態:小於1.5V (電流外漏:小於0.1mA)


*4. 若選擇最快速模式作為檢測功能時,通訊功能、防止相互干擾功能就會被關閉。
*5. 連接光纖放大器後,即可啟用防止相互干擾功能。

即使同時搭配E3X-DA-S型系列和E3C-LDA型系列使用,仍能啟動該功能。
此外,啟動功率調整功能後,至多可防止6台裝置發生相互干擾。
*6. 泛用型E3X-DA[]-S型([]:21/51/7/9/0)在啟動省電模式後,

額定檢測距離會變成約1/2,受光量則會變成約1/3。

*7. E3X-DA0-S型若搭配 E3X-ECT型使用時為30台

*8. E3X-DA0-S型搭配感測器通訊模組(E3X-ECT型或E3X-CRT型)使用時且執行動作時,

動作時:連接1 ~ 2台:0 ~ 55℃、連接3 ~ 10台:0 ~ 50℃、

連接11 ~ 16台:0 ~ 45℃ (使用E3X-ECT型時:連接17 ~ 30台:0 ~ 40℃)

省配線接頭

型號 E3X-CN21/22/11 E3X-CN12
額定電流 2.5A
額定電壓 50V
接觸電阻 20mΩ以下(DC20mV以下、100mA以下)
[與光纖放大器本體的連接以及與鄰接接頭的連接(除導線導體電阻外)]
插拔(耐久性) 50次(與光纖放大器本體的連接以及與鄰接接頭的連接)
材質 外殼 PBT
接點 磷青銅/鎳層鍍金
重量(包裝狀態) 約55g 約25g

檢測距離

E3X-DA[]-S型 ([]:21/51/7/9/0) ・E3X-DA[]F-S型 ([]:21/51/7/9)

螺絲型
檢測方式

檢測

方向

尺寸 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 直角型 M4

E32-T11N

2M

2,000 1,400 1,000 700 280

E32-LT11N

2M

4,000 * 4,000 * 3,500 2,300 920
直線

E32-T11R

2M

2,000 1,400 1,000 700 280

E32-LT11

2M

4,000 * 4,000 * 4,000 * 2,700 1,080

E32-LT11R

2M

4,000 * 4,000 * 3,500 2,300 920
反射型 直角型 M3

E32-C31N

2M

110 80 50 46 14

E32-C21N

2M

290 150 130 90 39
M4

E32-D21N

2M

840 600 350 240 100
M6

E32-C11N

2M

780 560 350 320 100

E32-LD11N

2M

840 600 350 240 100
直線 M3

E32-D21R

2M

140 100 60 40 16

E32-C31

2M

330 240 150 100 44

E32-C31M

1M

M4

E32-D211R

2M

140 100 60 40 16
M6

E32-D11R

2M

840 600 350 240 100

E32-CC200

2M

1,400 1,000 600 400 180

E32-LD11

2M

860 610 360 250 110

E32-LD11R

2M

840 600 350 240 100

*光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。


圓柱型


檢測方式 尺寸

檢測

方向

型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 φ1 俯視 E32-T223R 2M 450 300 250 150 60
φ1.5 E32-T22B 2M 680 480 400 220 90
φ3 E32-T12R 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
側視 E32-T14LR 2M 750 550 450 260 100
反射型 φ1.5 俯視 E32-D22B 2M 140 100 60 40 16
φ1.5+φ0.5 E32-D43M 1M 28 20 12 8 4
φ3 E32-D22R 2M 140 100 60 40 16
E32-D221B 2M 300 220 140 90 40
E32-D32L 2M 700 500 300 200 90
φ3+φ0.8 E32-D33 2M 70 50 30 20 8


扁平型


檢測方式 檢測方向 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 俯視 E32-T15XR 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
側視 E32-T15YR 2M 750 550 450 260 100
平視 E32-T15ZR 2M
反射型 俯視 E32-D15XR 2M 840 600 350 240 100
側視 E32-D15YR 2M 200 140 100 52 24
平視 E32-D15ZR 2M
註. E3X-DA0-S型不適用最快速模式。

E3X-DA[]-S型 ([]:21/51/7/9/0) ・E3X-DA[]F-S型 ([]:21/51/7/9)

套筒型


檢測方式 檢測方向 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 側視 E32-T24R 2M 170 120 100 50 20
E32-T24E 2M 450 300 250 150 60
俯視 E32-T21-S1 2M 510 360 300 170 68
E32-T33 1M 150 110 90 50 20
E32-TC200BR 2M 2,000 1,400 1,000 700 280
反射型 側視 E32-D24R 2M 70 52 30 20 8
E32-D24-S2 2M 120 80 53 45 14
俯視 E32-D43M 1M 28 20 12 8 4
E32-D331 2M 14 10 6 4 2
E32-D33 2M 70 50 30 20 8
E32-D32-S1 0.5M 63 43 27 18 7
E32-D31-S1 0.5M
E32-DC200F4R 2M 140 100 60 40 16
E32-D22-S1 2M 250 170 110 72 30
E32-D21-S3 2M
E32-DC200BR 2M 840 600 350 240 100
E32-D25-S3 2M 250 170 110 72 30

小光點反射


種類

光點

直徑

中心距離

(mm)

型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
可變光點

φ0.1~

0.6

6~15

E32-C42 1M+

E39-F3A

檢測距離為6 ~ 15mm時,光點直徑為φ0.1 ~ 0.6mm

φ0.3~

1.6

10~30

E32-C42 1M+

E39-F17

檢測距離為10 ~ 30mm時,光點直徑為φ0.3 ~ 1.6mm

平行光 φ4 0~20

E32-C31 2M+

E39-F3C

檢測距離為0 ~ 20mm時,光點直徑為φ4mm以下

E32-C31N 2M+

E39-F3C

一體型 φ0.1 5 E32-C42S 1M

檢測距離為5mm時,光點直徑為φ0.1mm

φ6 50 E32-L15 2M

檢測距離為50mm時,光點直徑為φ6mm

小光點 φ0.1 7

E32-C41 1M+

E39-F3A-5

檢測距離為7mm時,光點直徑為φ0.1mm

φ0.5

E32-C31 2M+

E39-F3A-5

檢測距離為7mm時,光點直徑為φ0.5mm

E32-C31N 2M+

E39-F3A-5

φ0.2 17

E32-C41 1M+

E39-F3B

檢測距離為17mm時,光點直徑為φ0.2mm

φ0.5

E32-C31 2M+

E39-F3B

檢測距離為17mm時,光點直徑為φ0.5mm

E32-C31N 2M+

E39-F3B

φ3 50

E32-CC200 2M+

E39-F18

檢測距離為50mm時,光點直徑為φ3mm

E32-C11N 2M+

E39-F18

註. E3X-DA0-S型不適用最快速模式。

E3X-DA[]-S型 ([]:21/51/7/9/0) ・E3X-DA[]F-S型 ([]:21/51/7/9)

高功率


種類 檢測方向 開口角度 型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

對照型
一體型
直角型 15° E32-LT11N 2M 4,000
*2
4,000
*2
3,500 2,300 920
俯視 10° E32-T17L 10M 20,000
*1
20,000
*1
20,000
*1
20,000
*1
8,000
15° E32-LT11 2M 4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
2,700 1,080
E32-LT11R 2M 4,000
*2
4,000
*2
3,500 2,300 920
側視 30° E32-T14 2M 4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
1,800

安裝

對照型
鏡頭

直角型 12°

E32-T11N 2M+

E39-F1

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
2,000
俯視

E32-T11N 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
3,600
12°

E32-T11R 2M+

E39-F1

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
2,000

E32-T11R 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
3,600
側視 60°

E32-T11R 2M+

E39-F2

1,450 1,040 800 500 200
俯視 12°

E32-T11 2M+

E39-F1

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
1,860

E32-T11 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
側視 60°

E32-T11 2M+

E39-F2

2,300 1,640 1,320 860 320
俯視 12°

E32-T51R 2M+

E39-F1

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
3,900 1,500

E32-T51R 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
側視 60°

E32-T51R 2M+

E39-F2

1,400 1,000 720 500 200
俯視 12°

E32-T81R-S 2M+

E39-F1

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
2,700 1,000

E32-T81R-S 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
1,800
側視 60°

E32-T81R-S 2M+

E39-F2

1,000 720 550 360 140
俯視 12°

E32-T61-S 2M+

E39-F1

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
1,800

E32-T61-S 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
3,100
側視 60°

E32-T61-S 2M+

E39-F2

1,680 1,200 900 600 240
俯視 12°

E32-T51 2M+

E39-F1-33

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
2,300 1,400

E32-T51 2M+

E39-F16

4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
4,000
*2
反射型
一體型
俯視 E32-D16 2M 40~
2,800
40~
2,000
40~
1,400
40~
900
40~
480

*1. 光纖長度為單側10m,因此檢測距離為20,000mm。
*2. 光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。


狹窄視野


檢測方式 檢測方向 開口角度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 側視 1.5° E32-A03 2M 3,220 2,300 1,780 1,200 500
E32-A03-1 2M
3.4° E32-A04 2M 1,280 920 680 450 200
E32-T24SR 2M 4,000 * 2,960 2,200 1,460 580
E32-T24S 2M 4,000 * 3,500 2,600 1,740 700
E32-T22S 2M 4,000 * 4,000 * 3,800 2,500 1,000

*光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。
註. E3X-DA0-S型不適用最快速模式。

E3X-DA[]-S型 ([]:21/51/7/9/0) ・E3X-DA[]F-S型 ([]:21/51/7/9)

以不檢測背景的方式進行檢測
檢測方式 檢測方向 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
限定反射型 平視 E32-L16-N 2M 0~15 0~12
E32-L24S 2M 0~4
側視 E32-L25L 2M 5.4~9(中心7.2)


透明體檢測(回歸反射型)


檢測方式 特長 尺寸 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
回歸反射型 薄膜檢測 M3 E32-C31 2M
+E39-F3R
+E39-RP37
250 200
角型 E32-R16 2M 150~1,500
螺絲型 M6 E32-R21 2M 10~250
螺帽型 E32-LR11NP 2M
+E39-RP1
1,350 1,270 1,200 1,000 550


透明體檢測(限定反射型)


檢測方式 特長

檢測

方向

型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

限定反射型 小型 平視 E32- L24S 2M 0~4
標準 E32-L16-N 2M 0~15 0~12

玻璃基板

對位70℃

E32-A08 2M 10~20
標準/長距離 E32-A12 2M 12~30
側視型 側視 E32-L25L 2M 5.4~9(中心7.2)

玻璃基板

定位70℃

俯視 E32-A09 2M 15~38


耐化學藥品/耐油


檢測方式 種類

檢測

方向

型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

對照型 耐油 直角型 E32-T11NF 2M 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 2,200

耐化學藥品/

耐油

俯視 E32-T12F 2M 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 1,600
E32-T11F 2M 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 2,600 1,000
側視 E32-T14F 2M 1,400 1,000 800 500 200

耐化學藥品/

耐油150℃

俯視 E32-T51F 2M 4,000 *1 3,600 2,800 1,800 700
反射型

半導體:洗淨、

顯像、蝕刻60℃

俯視 E32-L11FP 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為19 ~ 31mm

(建議檢測距離:22mm)

半導體:

剝離85℃

E32-L11FS 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為32 ~ 44mm

(建議檢測距離:35mm)

耐化學藥品/

耐油

E32-D12F 2M ― *2 320 190 130 60

僅導線

耐化學藥品

E32-D11U 2M 840 600 350 240 100


*1. 光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。
*2. 無檢測物體時,仍然能夠將光線反射至氟樹脂並且進入入光狀態。

耐繞曲


檢測方式 尺寸 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 φ1.5 E32-T22B 2M 680 480 400 220 90
M3 E32-T21 2M
M4 E32-T11 2M 2,500 1,800 1,350 900 360
角型 E32-T25XB 2M 500 360 300 170 70
反射型 φ1.5 E32-D22B 2M 140 100 60 40 16
M3 E32-D21 2M
φ3 E32-D221B 2M 300 220 140 90 40
M4 E32-D21B 2M
M6 E32-D11 2M 840 600 350 240 100
角型 E32-D25XB 2M 240 170 100 60 30

註. E3X-DA0-S型不適用最快速模式。

E3X-DA[]-S型 ([]:21/51/7/9/0) ・E3X-DA[]F-S型 ([]:21/51/7/9)

耐熱

檢測方式 耐熱溫度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 100℃ E32-T51R 2M 1,600 1,100 800 560 225
150℃ E32-T51 2M 2,800 2,000 1,500 1,000 400
200℃ E32-T81R-S 2M 1,000 720 550 360 140
350℃ E32-T61-S 2M 1,680 1,200 900 600 240
反射型 100℃ E32-D51R 2M 670 480 280 190 80
150℃ E32-D51 2M 1,120 800 450 320 144
200℃ E32-D81R-S 2M 420 300 180 120 54
300℃ E32-A08H2 2M 10~20
E32-A09H2 2M 20~30(中心25)
350℃ E32-D611-S 2M 420 300 180 120 54
E32-D61-S 2M
400℃ E32-D73-S 2M 280 200 120 80 36

區域光束


檢測方式 類型 檢測幅度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 區域 11mm E32-T16PR 2M 3,100 2,200 1,700 1,120 440
E32-T16JR 2M 2,750 2,000 1,500 960 380
30mm E32-T16WR 2M 4,000 * 3,400 2,600 1,700 680
反射型 排列 11mm E32-D36P1 2M 700 500 300 200 90


*光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。


液面高度檢測


檢測方式 管路直徑 特長 型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

管路安裝

φ3.2/

6.4/9.5

安定

殘量檢測

E32-A01 5M

適用管路:φ3.2/6.4/9.5的透明管路、

建議厚度為1mm

φ8~10

使用於

複數連裝

E32-L25T 2M

適用管路:φ8 ~ 10mm的透明管路、

建議厚度為1mm

無限制 大型管路 E32-D36T 2M 適用管路:透明管路、無直徑限制

接液

(耐熱200℃)

E32-D82F1 4M 接液型


耐真空


檢測方式 耐熱溫度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 120℃ E32-T51V 1M 720 520 400 260 100
E32-T51V 1M+E39-F1V 2,000 * 2,000 * 2,000 * 1,360 520
200℃ E32-T84SV 1M 1,760 1,250 950 640 260


*光纖長度為單側1m,因此檢測距離為2,000mm。

FPD/半導體/太陽能電池業界


檢測方式 應用

環境

溫度

型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

限定

反射型

玻璃有無檢測 70℃ E32-L16-N 2M 0~15 0~12
玻璃基板對位 E32-A08 2M 10~20
300℃ E32-A08H2 2M
70℃ E32-A12 2M 12~30
玻璃基板定位 E32-A09 2M 15~38
300℃ E32-A09H2 2M 20~30(中心25)

WET製程(洗淨、

顯像、蝕刻)

60℃ E32-L11FP 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為19 ~ 31mm

(建議檢測距離:22mm)

WET製程(剝離) 85℃ E32-L11FS 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為32 ~ 44mm

(建議檢測距離:35mm)

對照型 晶圓定位 70℃ E32-A03 2M 3,220 2,300 1,780 1,200 500
E32-A03-1 2M
E32-A04 2M 1,280 920 680 450 200
E32-T24SR 2M 4,000 * 2,960 2,200 1,460 580
E32-T24S 2M 4,000 * 3,500 2,600 1,740 700

*光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。
註. E3X-DA0-S型不適用最快速模式。

E3X-DA[]R-S型 ([]:21/51/7/9)

螺絲型


檢測方式 檢測方向 尺寸 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 直角型 M4 E32-T11N 2M 1,000 700 500 350 140
E32-LT11N 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
直線 E32-T11R 2M 1,000 700 530 350 140
E32-LT11 2M 3,800 2,700 2,050 1,350 540
E32-LT11R 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
反射型 直角型 M3 E32-C31N 2M 55 40 25 23 7
E32-C21N 2M 145 75 65 45 20
M4 E32-D21N 2M 420 300 175 120 50
M6 E32-C11N 2M 390 280 175 160 50
E32-LD11N 2M 420 300 170 120 50
直線 M3 E32-D21R 2M 70 50 30 20 8
E32-C31 2M 165 120 75 50 22
E32-C31M 1M
M4 E32-D211R 2M 70 50 30 20 8
M6 E32-D11R 2M 420 300 170 120 50
E32-CC200 2M 700 500 300 200 90
E32-LD11 2M 430 305 180 125 55
E32-LD11R 2M 420 300 170 120 50

圓柱型


檢測方式 尺寸

檢測

方向

型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

對照型 φ1 俯視 E32-T223R 2M 220 160 130 75 30
φ1.5 E32-T22B 2M 340 240 200 110 45
φ3 E32-T12R 2M 1,000 700 530 350 140
側視 E32-T14LR 2M 370 270 210 130 50
反射型 φ1.5 俯視 E32-D22B 2M 70 50 30 20 8

φ1.5+

φ0.5

E32-D43M 1M 15 11 6 4 2
φ3 E32-D22R 2M 70 50 30 20 8
E32-D221B 2M 150 110 70 45 20
E32-D32L 2M 350 250 150 100 45
φ3+φ0.8 E32-D33 2M 35 25 16 10 4


扁平型


檢測方式 檢測方向 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 俯視 E32-T15XR 2M 1,000 700 530 350 140
側視 E32-T15YR 2M 370 270 210 130 50
平視 E32-T15ZR 2M
反射型 俯視 E32-D15XR 2M 420 300 170 120 50
側視 E32-D15YR 2M 100 70 40 26 12
平視 E32-D15ZR 2M

E3X-DA[]R-S型 ([]:21/51/7/9)

套筒型


檢測方式 檢測方向 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 側視 E32-T24R 2M 85 60 50 25 10
E32-T24E 2M 225 150 125 75 30
俯視 E32-T21-S1 2M 255 180 150 85 34
E32-T33 1M 75 55 45 25 10
E32-TC200BR 2M 1,000 700 530 350 140
反射型 側視 E32-D24R 2M 35 26 15 10 4
E32-D24-S2 2M 60 40 26 23 7
俯視 E32-D43M 1M 15 11 6 4 2
E32-D331 2M 7 5 3 2 0.8
E32-D33 2M 35 25 16 10 4
E32-D32-S1 0.5M 31 21 13 9 3
E32-D31-S1 0.5M
E32-DC200F4R 2M 70 50 30 20 8
E32-D22-S1 2M 125 85 55 36 15
E32-D21-S3 2M
E32-DC200BR 2M 420 300 170 120 50
E32-D25-S3 2M 125 85 55 36 15


小光點反射


種類 光點直徑 中心距離
(mm)
型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

可變

光點

φ0.1~

0.6

6~15

E32-C42 1M+

E39-F3A

檢測距離為6 ~ 15mm時,

光點直徑為φ0.1 ~ 0.6mm

φ0.3~

1.6

10~30

E32-C42 1M+

E39-F17

檢測距離為10 ~ 30mm時,

光點直徑為φ0.3 ~ 1.6mm

平行光 φ4 0~20

E32-C31 2M+

E39-F3C

檢測距離為0 ~ 20mm時,

光點直徑為φ4mm以下

E32-C31N 2M+

E39-F3C

一體型 φ0.1 5 E32-C42S 1M

檢測距離為5mm時,

光點直徑為φ0.1mm

φ6 50 E32-L15 2M

檢測距離為50mm時,

光點直徑為φ6mm

小光點 φ0.1 7

E32-C41 1M+

E39-F3A-5

檢測距離為7mm時,

光點直徑為φ0.1mm

φ0.5

E32-C31 2M+

E39-F3A-5

檢測距離為7mm時,

光點直徑為φ0.5mm

E32-C31N 2M+

E39-F3A-5

φ0.2 17

E32-C41 1M+

E39-F3B

檢測距離為17mm時,

光點直徑為φ0.2mm

φ0.5

E32-C31 2M+

E39-F3B

檢測距離為17mm時,

光點直徑為φ0.5mm

E32-C31N 2M+

E39-F3B

φ3 50

E32-CC200 2M+

E39-F18

檢測距離為50mm時,

光點直徑為φ3mm

E32-C11N 2M+

E39-F18

E3X-DA[]R-S型 ([]:21/51/7/9)

高功率


種類

檢測

方向

開口

角度

型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

對照型
一體型
直角型 15° E32-LT11N 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
俯視 10° E32-T17L 10M

20,000

*1

20,000

*1

20,000

*1

10,000 4,000
15° E32-LT11 2M 3,800 2,700 2,050 1,350 540
E32-LT11R 2M 3,200 2,300 1,750 1,150 460
側視 30° E32-T14 2M

4,000

*2

4,000

*2

3,400 2,250 900

安裝

對照型
鏡頭

直角型 12° E32-T11N 2M
+E39-F1

4,000

*2

4,000

*2

3,700 2,400 970
E32-T11N 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

1,800
俯視 12° E32-T11R 2M
+E39-F1

4,000

*2

4,000

*2

3,700 2,400 970
E32-T11R 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

1,800
側視 60° E32-T11R 2M
+E39-F2
725 520 400 250 100
俯視 12° E32-T11 2M
+E39-F1

4,000

*2

4,000

*2

3,600 2,300 930
E32-T11 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

2,300
側視 60° E32-T11 2M
+E39-F2
1,150 820 660 430 160
俯視 12° E32-T51R 2M
+E39-F1

4,000

*2

3,900 2,900 1,900 760
E32-T51R 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

3,600 1,400
側視 60° E32-T51R 2M
+E39-F2
700 500 360 250 100
俯視 12° E32-T81R-S 2M
+E39-F1

4,000

*2

2,650 2,100 1,300 520
E32-T81R-S 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

3,600 2,300 900
側視 60° E32-T81R-S 2M
+E39-F2
500 360 280 180 70
俯視 12° E32-T61-S 2M
+E39-F1

4,000

*2

4,000

*2

3,400 2,200 900
E32-T61-S 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

3,900 1,500
側視 60° E32-T61-S 2M
+E39-F2
840 600 450 300 120
俯視 12° E32-T51 2M
+E39-F1-33

4,000

*2

3,400 2,660 1,150 700
E32-T51 2M
+E39-F16

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

4,000

*2

2,600

反射型

一體型

俯視 E32-D16 2M

40~

1,400

40~

1,000

40~

700

40~

450

40~

240


*1. 光纖長度為單側10m,因此檢測距離為20,000mm。
*2. 光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。


狹窄視野


檢測方式 檢測方向 開口角度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 側視 1.5° E32-A03 2M 1,610 1,150 890 600 250
E32-A03-1 2M
3.4° E32-A04 2M 640 460 340 225 100
E32-T24SR 2M 2,100 1,500 1,100 750 300
E32-T24S 2M 2,400 1,750 1,300 870 350
E32-T22S 2M 3,500 2,500 1,900 1,250 500

E3X-DA[]R-S型 ([]:21/51/7/9)

背景消除的方式進行檢測


檢測方式 檢測方向 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
限定反射型 平視 E32-L16-N 2M 0~15 0~12
E32-L24S 2M 0~4
側視 E32-L25L 2M 5.4~9(中心7.2)


透明體檢測(回歸反射型)


檢測方式 特長 尺寸 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
回歸反射型 薄膜檢測 M3 E32-C31 2M
+E39-F3R
+E39-RP37
250 200 150 100 50
角型 E32-R16 2M 150~1,500
螺絲型 M6 E32-R21 2M 10~250
螺帽型 E32-LR11NP 2M
+E39-RP1
675 630 600 500 275


透明體檢測(限定反射型)


檢測方式 特長 檢測方向 型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

限定

反射型

小型 平視 E32- L24S 2M 0~4
標準 E32-L16-N 2M 0~15 0~12

玻璃基板

對位70℃

E32-A08 2M 10~20
標準/長距離 E32-A12 2M 12~30
側視型 側視 E32-L25L 2M 5.4~9(中心7.2)

玻璃基板

定位70℃

俯視 E32-A09 2M 15~38


耐化學藥品/耐油


檢測

方式

種類 檢測方向 型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

對照型 耐油 直角型 E32-T11NF 2M 4,000 *1 4,000 *1 4,000 *1 3,100 1,200

耐化學藥品/

耐油

俯視 E32-T12F 2M 4,000 *1 4,000 *1 3,000 2,000 800
E32-T11F 2M 3,500 2,500 2,000 1,300 520
側視 E32-T14F 2M 700 500 400 250 100

耐化學藥品/

耐油150℃

俯視 E32-T51F 2M 2,500 1,800 1,400 900 350
反射型

半導體:洗淨、

顯像、蝕刻60℃

俯視 E32-L11FP 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為19 ~ 31mm

(建議檢測距離:22mm)

半導體:

剝離85℃

E32-L11FS 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為32 ~ 44mm

(建議檢測距離:35mm)

耐化學藥品/

耐油

E32-D12F 2M ― *2 160 95 65 30

僅導線

耐化學藥品

E32-D11U 2M 420 300 170 120 50


*1. 光纖長度為單側2m,因此檢測距離為4,000mm。
*2. 無檢測物體時,仍然能夠將光線反射至氟樹脂並且進入入光狀態。


耐繞曲


檢測方式 尺寸 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 φ1.5 E32-T22B 2M 340 240 200 110 45
M3 E32-T21 2M
M4 E32-T11 2M 1,250 900 680 450 180
角型 E32-T25XB 2M 250 180 150 85 35
反射型 φ1.5 E32-D22B 2M 70 50 30 20 8
M3 E32-D21 2M
φ3 E32-D221B 2M 150 110 70 45 20
M4 E32-D21B 2M
M6 E32-D11 2M 420 300 170 120 50
角型 E32-D25XB 2M 120 85 50 30 15

E3X-DA[]R-S型 ([]:21/51/7/9)

耐熱


檢測方式 耐熱溫度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 100℃ E32-T51R 2M 800 560 425 280 110
150℃ E32-T51 2M 1,400 1,000 760 500 200
200℃ E32-T81R-S 2M 500 360 280 180 70
350℃ E32-T61-S 2M 840 600 450 300 120
反射型 100℃ E32-D51R 2M 330 240 135 95 40
150℃ E32-D51 2M 560 400 230 160 72
200℃ E32-D81R-S 2M 210 150 90 60 27
300℃ E32-A08H2 2M 10~20
E32-A09H2 2M 20~30(中心25)
350℃ E32-D611-S 2M 210 150 90 60 27
E32-D61-S 2M
400℃ E32-D73-S 2M 140 100 60 40 18


區域光束


檢測方式 類型 檢測幅度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 區域 11mm E32-T16PR 2M 1,550 1,100 840 560 220
E32-T16JR 2M 1,370 980 750 480 190
30mm E32-T16WR 2M 2,000 1,700 1,300 850 340
反射型 排列 11mm E32-D36P1 2M 350 250 150 100 45


液面高度檢測


檢測方式 管路直徑 特長 型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

管路安裝

φ3.2/

6.4/9.5

安定

殘量檢測

E32-A01 5M

適用管路:φ3.2/6.4/9.5的透明管路、

建議厚度為1mm

φ8~10

使用於

複數連裝

E32-L25T 2M

適用管路:φ8 ~ 10mm的透明管路、

建議厚度為1mm

無限制 大型管路 E32-D36T 2M 適用管路:透明管路、無直徑限制
接液
(耐熱200℃)
E32-D82F1 4M 接液型


耐真空


檢測方式 耐熱溫度 型號 檢測距離(mm)
強光量模式 高精度模式 標準模式 高速模式 最快速模式
對照型 120℃ E32-T51V 1M 360 260 200 130 50
E32-T51V 1M+E39-F1V 1,890 1,350 1,000 680 260
200℃ E32-T84SV 1M 880 630 480 320 130


FPD/半導體/太陽能電池業界


檢測方式 應用

環境

溫度

型號 檢測距離(mm)

強光量

模式

高精度

模式

標準

模式

高速

模式

最快速

模式

限定

反射型

玻璃有無檢測 70℃ E32-L16-N 2M 0~15 0~12
玻璃基板對位 E32-A08 2M 10~20
300℃ E32-A08H2 2M
70℃ E32-A12 2M 12~30
玻璃基板定位 E32-A09 2M 15~38
300℃ E32-A09H2 2M 20~30(中心25)

WET製程(洗淨、

顯像、蝕刻)

60℃ E32-L11FP 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為19 ~ 31mm

(建議檢測距離:22mm)

WET製程(剝離) 85℃ E32-L11FS 2M

與鏡頭前端的距離為8 ~ 20mm

(建議檢測距離:11mm)
與安裝孔中心點A的距離為32 ~ 44mm

(建議檢測距離:35mm)

對照型 晶圓定位 70℃ E32-A03 2M 1,610 1,150 890 600 250
E32-A03-1 2M
E32-A04 2M 640 460 340 225 100
E32-T24SR 2M 2,100 1,500 1,100 750 300
E32-T24S 2M 2,400 1,750 1,300 870 350