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壓力感測器

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何謂壓力感測器

壓力感測器其透過膜片(包含不鏽鋼膜片,矽膜片等)以感壓元件測量氣體及液體的壓力後,轉換為電氣訊號輸出動作。

原理
  • 半導體壓電阻抗擴散壓力感測器的膜片表面由半導體應變計構成,當外力(壓力)使膜片變形發生壓阻效應,進而使電阻變化時,感測器會將電阻的變化轉換為電子訊號。

  • 靜電容量型壓力感測器其電容器是將玻璃材料的固定極與矽材料的可動極對向設置後所構成。當外力(壓力)使可動極變形,靜電容量發生變化時,感測器會將靜電容量變化轉換為電子訊號。
    (E8Y型之動作原理為靜電容量式,其餘機種為半導體式。)

半導體應變計的構造

何謂壓電效應